向超纯水系统里注入的供给水,有没有被精制至一定的纯度?如果使用经过再生的离子交换柱,其精制的水质的电阻率值容易变动。离子交换柱因为不能去除离子以外的污染物(有机物和微生物),所以不适合超纯水的预处理。另外,如果由中央纯水系统进行供水,中央纯水管道里的污染物流入超纯水装置中,也会使得超纯水系统的去除功能降低以及纯化柱寿命缩短。