超纯水系统中使用两种波长的UV灯。一种波长为185nm,用于有机物的氧化分解。另一种波长为254nm,用于杀菌的。在纯水系统和储水罐中使用杀菌用UV灯,在超纯水系统中使用有机物的氧化分解的UV灯。另外紫外线氧化-导电率方式的TOC检测仪中也使用185nm的UV灯。